ประกวดราคาซื้อเครื่องเคลือบฟิล์มบางด้วยเทคนิคการเคลือบระดับอะตอม แขวงลาดยาว เขตจตุจักร กรุงเทพมหานคร จำนวน 1 ชุด

• เพื่อใช้ประกอบในการเรียนการสอนรายวิชา ๐๑๒๓๙๒๒๓ ฟิล์มบางและเทคโนโลยีสุญญากาศ
• เพื่อใช้ประกอบในการเรียนการสอนรายวิชา ๐๑๒๓๙๓๒๒ พื้นฐานของกระบวนการด้านพลาสม่า
• เพื่อใช้ประกอบในการเรียนการสอนรายวิชา ๐๑๒๓๙๓๒๓ เทคโนโลยีของกระบวนการด้านเซมิคอนดักเตอร์
• เพื่อใช้ประกอบในการเรียนการสอนรายวิชา ๐๑๒๓๙๓๒๔ ปฏิบัติการกระบวนการผลิตด้านเซมิคอนดักเตอร์
• เพื่อใช้ประกอบในการเรียนการสอนรายวิชา ๐๑๒๓๙๓๙๑ โครงงานวิศวกรรมเซมิคอนดักเตอร์
• เพื่อใช้ประกอบในการเรียนการสอนรายวิชา ๐๑๒๓๙๔๙๙ โครงงานวิศวกรรมเซมิคอนดักเตอร์
• เพื่อใช้ในการวิจัยและพัฒนาเพื่อพัฒนาเทคโนโลยีฟิล์มบางเซมิคอนดักเตอร์ของตัวเองในอนาคต
• เพื่อเพิ่มขีดความสามารถในการทำวิจัย
• เพื่อเพิ่มขีดความสามารถในการพัฒนาเทคโนโลยี
• เพื่อเสริมสร้างความร่วมมือระหว่างภาคการศึกษาและอุตสาหกรรม

• จัดซื้อเครื่องเคลือบฟิล์มบางด้วยเทคนิคการเคลือบระดับอะตอม (Atomic Layer Deposition - ALD) จำนวน 1 เครื่อง
• จัดซื้อเครื่องเขียนวงจรแบบไม่สัมผัสตัวอย่าง จำนวน 1 เครื่อง
• จัดซื้อเครื่องคอมพิวเตอร์สำหรับงานประมวลผล จำนวน 1 เครื่อง
• จัดซื้อตู้อบลมร้อน จำนวน 1 เครื่อง
• จัดซื้อเครื่องให้ความร้อนและกวนสารละลายด้วยแท่งแม่เหล็ก จำนวน 1 เครื่อง
• จัดซื้อกล้องจุลทรรศน์ จำนวน 1 เครื่อง
• จัดซื้อเครื่อง Spin Coater จำนวน 1 เครื่อง
• จัดซื้อเครื่องดูดสุญญากาศ (Vacuum Pump) จำนวน 1 เครื่อง
• จัดซื้ออ่างน้ำควบคุมอุณหภูมิ จำนวน 1 เครื่อง
• จัดซื้อเครื่องอัลตร้าโซนิค (Ultrasonic Cleaner) จำนวน 1 เครื่อง
• จัดซื้อตู้ควบคุมความชื้น จำนวน 1 เครื่อง
• จัดซื้อตู้สำหรับเก็บสารเคมี จำนวน 1 ตู้
• จัดซื้อโต๊ะสแตนเลส จำนวน 3 ตัว
• จัดซื้อเก้าอี้สแตนเลส จำนวน 3 ตัว
• จัดซื้อตู้ดูดไอสารเคมี (FUME HOOD) จำนวน 1 ตู้
• จัดซื้อเครื่องสำรองไฟ ขนาด 3 kVA จำนวน 1 เครื่อง
• จัดซื้อเตาเผาไฟฟ้าอุณหภูมิสูง จำนวน 1 เครื่อง
• จัดทำห้องสภาวะแวดล้อมภายในเป็นคลีนรูม Class 90,000 ขนาดพื้นที่โดยรวมไม่น้อยกว่า 35 ตารางเมตร จำนวนไม่น้อยกว่า 1 ห้อง
• ติดตั้งหัวจ่ายลมไนโตรเจนภายในห้อง จำนวนไม่น้อยกว่า 1 จุด
• ติดตั้งหัวจ่ายลมภายในห้อง จำนวนไม่น้อยกว่า 1 จุด
• ดำเนินการส่งมอบครุภัณฑ์และติดตั้งระบบไฟฟ้าให้เหมาะสมกับการทำงานของตัวเครื่อง
• ดำเนินการส่งมอบครุภัณฑ์และติดตั้งระบบแก๊สให้เหมาะสมกับการทำงานของตัวเครื่อง
• ดำเนินการส่งมอบครุภัณฑ์และติดตั้งระบบน้ำให้เหมาะสมกับการทำงานของตัวเครื่อง
• อบรมการใช้งานครุภัณฑ์และอบรมการดูแลรักษาให้กับบุคลากร
• จัดส่งคู่มือการใช้งานภาษาไทยและภาษาอังกฤษ จำนวนไม่น้อยกว่า 1 ชุด
• จัดส่งคู่มือการใช้งานแบบไฟล์อิเล็กทรอนิกส์ จำนวนไม่น้อยกว่า 1 ชุด

• เครื่องเคลือบฟิล์มบางด้วยเทคนิคการเคลือบระดับอะตอม พร้อมอุปกรณ์ประกอบครบถ้วน
• เครื่องเขียนวงจรแบบไม่สัมผัสตัวอย่าง
• เครื่องคอมพิวเตอร์สำหรับงานประมวลผล
• ตู้อบลมร้อน
• เครื่องให้ความร้อนและกวนสารละลายด้วยแท่งแม่เหล็ก
• กล้องจุลทรรศน์
• เครื่อง Spin Coater
• เครื่องดูดสุญญากาศ (Vacuum Pump)
• อ่างน้ำควบคุมอุณหภูมิ
• เครื่องอัลตร้าโซนิค (Ultrasonic Cleaner)
• ตู้ควบคุมความชื้น
• ตู้สำหรับเก็บสารเคมี
• โต๊ะสแตนเลส
• เก้าอี้สแตนเลส
• ตู้ดูดไอสารเคมี (FUME HOOD)
• เครื่องสำรองไฟ ขนาด 3 kVA
• เตาเผาไฟฟ้าอุณหภูมิสูง
• ห้องสภาวะแวดล้อมภายในเป็นคลีนรูม Class 90,000
• ระบบไฟฟ้า, ระบบแก๊ส, ระบบน้ำที่ติดตั้งอย่างเหมาะสม
• บุคลากรที่ผ่านการอบรมการใช้งานและบำรุงรักษา
• คู่มือการใช้งาน (ภาษาไทยและภาษาอังกฤษ)
• คู่มือการใช้งาน (ไฟล์อิเล็กทรอนิกส์)

210 วัน หลังจากลงนามในสัญญา

• Eligibility Requirements:
  • ผู้ยื่นข้อเสนอต้องเป็นนิติบุคคล หรือบุคคลธรรมดาที่บรรลุนิติภาวะ
  • ผู้ยื่นข้อเสนอต้องเป็นผู้ผลิต หรือตัวแทนจำหน่ายที่ได้รับการแต่งตั้งจากผู้ผลิตหรือตัวแทนจำหน่ายในประเทศไทย โดยต้องยื่นเอกสารหลักฐานการแต่งตั้งในวันยื่นข้อเสนอ
• Standards Compliance:
  • (ไม่ระบุมาตรฐาน ISO หรือมาตรฐานสากลอื่นๆ โดยตรงสำหรับผู้ยื่นข้อเสนอ แต่คุณลักษณะเฉพาะของเครื่องมือบางรายการระบุถึงมาตรฐาน เช่น DIN EN 60529 IP21)
• Experience:
  • (ไม่ระบุประสบการณ์เฉพาะของผู้ยื่นข้อเสนอโดยตรง นอกเหนือจากการเป็นผู้ผลิตหรือตัวแทนจำหน่าย)
• Previous Project Cost:
  • (ไม่ระบุ)
• Technical Capabilities:
  • (ไม่ระบุโดยตรง แต่ผู้ยื่นข้อเสนอต้องสามารถจัดหาและติดตั้งเครื่องมือที่มีคุณลักษณะเฉพาะตามที่ระบุไว้ใน TOR ได้)
• Personnel:
  • (ไม่ระบุคุณสมบัติเฉพาะของบุคลากรของผู้ยื่นข้อเสนอ นอกเหนือจากการอบรมการใช้งานและการบำรุงรักษา)

ราคา

• เครื่องเคลือบฟิล์มบางด้วยเทคนิคการเคลือบระดับอะตอม (ALD):
  • สามารถสร้างชั้นเคลือบชนิด Oxide, Nitride, Metallic film
  • มีสารประกอบตั้งต้น (Precursors) สำหรับ TiO2 และ HfO2
  • เคลือบชิ้นงานขนาดไม่น้อยกว่า 4 นิ้ว
  • มีระบบ Load lock พร้อม Auto wafer Handling
  • มีระบบให้ความร้อนที่ Stage, Chamber, Pumping Line
  • มีประสิทธิภาพการทำสุญญากาศ (Ultimate pressure) ในห้องทำปฏิกิริยา ≤ 20 mTorr ที่อุณหภูมิห้อง
  • มีอัตราการรั่วไหล (leak rate) ในห้องทำปฏิกิริยา ≤ 5 mTorr/min
  • ใช้ Argon (Ar) เป็น Carrier Gas
  • มีชุดบับเบลอร์ (bubbler) สำหรับ Precursor อย่างน้อย 3 ชุด (ความจุ ≥ 200 cc, อุณหภูมิสูงสุด ≥ 150°C)
  • มีชุดไอระเหย (Vapor) สำหรับลำเลียงสารตั้งต้น อย่างน้อย 1 ชุด (ทำงานที่อุณหภูมิห้อง, ความจุ ≥ 200 cc)
  • มีชุดไอระเหยสำหรับ Reactant (H2O) อย่างน้อย 1 ชุด (ทำงานที่อุณหภูมิห้อง, ท่อทนอุณหภูมิสูงสุด ≥ 150°C)
  • มีระบบแสดงผล Operation monitor LCD ขนาดไม่น้อยกว่า 15 นิ้ว
  • มีระบบความปลอดภัยและ Interlock
  • มีถังสำหรับทิ้งสารเคมีชนิดกรด, เบส, และเจือจาง (ปริมาตร ≥ 15 ลิตร)
  • มีถังพลาสติก HDPE สำหรับบรรจุน้ำบริสุทธิ์ (ปริมาตร ≥ 20 ลิตร)
  • มีแผ่น Silicon wafer ขนาดไม่น้อยกว่า 2 นิ้ว (N-type และ P-type อย่างละ ≥ 10 แผ่น)
  • มีอุปกรณ์สำหรับตัดแผ่นเวเฟอร์ด้วยหัวตัดชนิดเพชร
  • ผู้ขายต้องดำเนินการบำรุงรักษาเชิงป้องกัน (Preventive Maintenance) ไม่น้อยกว่าปีละ 2 ครั้ง ตลอดระยะเวลาการรับประกัน
• เครื่องเขียนวงจรแบบไม่สัมผัสตัวอย่าง:
  • รองรับชิ้นงานขนาดไม่น้อยกว่า 4x4 นิ้ว
  • ระยะการเคลื่อนที่มอเตอร์สูงสุดไม่น้อยกว่า 115 มม.
  • พื้นที่ Exposed สูงสุดไม่น้อยกว่า 106x106 มม.
  • ค่า Repeatability < 1.3 ไมโครเมตร
  • ค่า Encode resolution ≤ 3 ไมโครเมตร
  • ค่า Alignment resolution ≤ 0.1 ไมโครเมตร
  • ค่า Z resolution ≤ 10 นาโนเมตร
  • ค่า Grayscale levels ≥ 4 Bit
  • มีชุดแหล่งกำเนิดแสงความยาวคลื่น 405 นาโนเมตร
  • รองรับไฟล์ภาพชนิด BMP, PNG, TIFF, GDS หรือมากกว่า
  • ผู้ขายต้องดำเนินการบำรุงรักษาเชิงป้องกัน (Preventive Maintenance) ไม่น้อยกว่าปีละ 2 ครั้ง ตลอดระยะเวลาการรับประกัน
• เครื่องคอมพิวเตอร์สำหรับงานประมวลผล:
  • CPU 16 core, 24 Thread, Turbo Boost/Max Boost ≥ 4.8 GHz
  • Cache Memory ≥ 25 MB
  • RAM DDR4 หรือดีกว่า ขนาด ≥ 4 GB
  • การ์ดจอแยก (หรือ Onboard ที่ใช้ RAM หลัก) ขนาด VRAM ≥ 2 GB
  • หน่วยจัดเก็บข้อมูลรวม ≥ 1 TB (SATA ≥ 1 TB + SSD ≥ 512 GB)
  • Network Interface 10/100/1000 Base-T
  • USB 2.0 หรือดีกว่า ≥ 3 ช่อง
  • HDMI ≥ 1 ช่อง
  • จอแสดงผลขนาดไม่น้อยกว่า 19 นิ้ว
  • ระบบปฏิบัติการ Windows 11 หรือใหม่กว่า (มีลิขสิทธิ์)
• ตู้อบลมร้อน:
  • ควบคุมอุณหภูมิได้ตั้งแต่ 5°C เหนืออุณหภูมิห้อง ถึง 300°C
  • ความจุประมาณ 53 ลิตร (ขนาดภายใน 40x40x33 ซม.)
  • ระบบควบคุมอุณหภูมิ PID Microprocessor controller
  • แสดงอุณหภูมิด้วย TFT-colour display
  • ใช้ไฟฟ้า 220-240V, 50/60 Hz
• เครื่องให้ความร้อนและกวนสารละลายด้วยแท่งแม่เหล็ก:
  • กวนสารปริมาณไม่น้อยกว่า 10 ลิตร
  • ความเร็วรอบกวน 100 - 1,500 rpm
  • ทำอุณหภูมิได้สูงสุดไม่น้อยกว่า 500°C
  • แผ่นวางขนาดไม่น้อยกว่า 180x180 mm วัสดุเซรามิคหรือดีกว่า
• กล้องจุลทรรศน์:
  • กำลังขยาย 6.7 – 45 เท่า, Zoom ratio 6.7:1
  • ระบบทางเดินแสงแบบ Galilean
  • เลนส์ตาชนิดเห็นภาพกว้าง (Wide field) กำลังขยาย 10 เท่า, พื้นที่มองเห็น 22 มม.
  • หัวกล้อง Trinocular tube พร้อมปุ่มปรับทิศทางแสง
  • ฐานกล้อง Universal stand ปรับระดับสูง-ต่ำ และเลื่อนหน้า-หลังได้
  • ไฟส่องสว่าง LED แบบวงแหวน
• เครื่อง Spin Coater:
  • เคลือบตัวอย่างวงกลมเส้นผ่านศูนย์กลางสูงสุด 5 นิ้ว หรือสี่เหลี่ยม 4x4 นิ้ว
  • วัสดุตัวเครื่อง NPP (Natural Polypropylene) ทนการกัดกร่อน
  • ฝาเครื่องใส มีช่องฉีดสารด้วย Syringe
  • ระบบล็อคฝาเครื่องขณะทำงาน
  • ควบคุมผ่านหน้าจอสัมผัสสี (ทนสารเคมี)
  • ตั้งโปรแกรมความเร็วรอบ (1-10,000 rpm), อัตราเร่ง (1-30,000 rpm/sec), และเวลาได้
  • มีชุดกรองดักจับของเหลว (Liquid filter trap)
  • มีช่องต่อ USB สำหรับบันทึกโปรแกรม
• เครื่องดูดสุญญากาศ (Vacuum Pump):
  • ชนิดไม่ใช้น้ำมัน (Oil Free)
  • อัตราการดูดไม่น้อยกว่า 12 ลิตร/นาที
  • มีตัวดักจับความชื้น (Moisture trap)
• อ่างน้ำควบคุมอุณหภูมิ:
  • ควบคุมอุณหภูมิ 5°C เหนืออุณหภูมิห้อง ถึง 100°C
  • ความจุไม่น้อยกว่า 23 ลิตร (ขนาดภายใน 47x26x20 ซม.)
  • หน้าจอสี 3.5 นิ้ว ระบบสัมผัส
  • ตั้งเวลาทำงานได้ 1 นาที ถึง 99 ชั่วโมง
• เครื่องอัลตร้าโซนิค (Ultrasonic Cleaner):
  • ปริมาตรไม่น้อยกว่า 6.5 ลิตร
  • ความถี่อัลตร้าโซนิค ≥ 40 kHz
  • Heating Power ≥ 300 วัตต์
  • หน้าจอแสดงผล Digital (อุณหภูมิและเวลาแยกกัน)
  • ตั้งเวลาได้ 0-40 นาที, ตั้งอุณหภูมิได้ 0-80°C
• ตู้ควบคุมความชื้น:
  • ควบคุมความชื้นอัตโนมัติด้วยระบบ T.E. Cooling System
  • แสดงค่าความชื้นและอุณหภูมิด้วย LED
  • ปรับค่าความชื้นได้ในช่วง 20-60 %RH (ละเอียดทีละ 1 %RH)
  • โครงสร้างตู้โลหะหนา ≥ 1 มม.
  • ประตูหน้าต่างกระจกนิรภัยหนา ≥ 5 มม. พร้อมกุญแจล็อค
• ตู้สำหรับเก็บสารเคมี:
  • ขนาด กว้าง x ลึก x สูง ≥ 800 x 300 x 1,000 มม.
  • โครงสร้างเหล็กรีดเย็นเคลือบกันสนิม
  • ผนังภายในเจาะรูระบายอากาศ
  • บานประตูเป็นกระจกนิรภัยหนา ≥ 5 มม.
  • มีชั้นวางปรับระดับความสูงได้
• ตู้ดูดไอสารเคมี (FUME HOOD):
  • ส่วนบนขนาด กว้าง x สูง x ลึก ≥ 1.20 x 0.75 x 0.75 เมตร
  • ส่วนล่างขนาด กว้าง x สูง x ลึก ≥ 1.20 x 1.80 x 1.75 เมตร
  • โครงสร้างแข็งแรง ติดตั้งในห้องคลีนรูมได้
• เตาเผาไฟฟ้าอุณหภูมิสูง:
  • ชนิดตั้งโต๊ะ ฝาเปิดลงด้านหน้า
  • ขนาดภายนอก กว้าง 25 x สูง 37 x ยาว 40 ซม.
  • ขนาดภายใน กว้าง 12.7 x สูง 10.8 x ลึก 15.2 ซม.
  • ความจุภายในไม่น้อยกว่า 20 ลิตร
  • จุดให้ความร้อน 3 ตำแหน่ง (บน, ซ้าย, ขวา)
  • Temperature Uniformity ± 5.0°C ที่ 1000°C
  • Temperature Stability ± 0.5°C ที่ 1000°C
  • ปรับตั้งอุณหภูมิได้ 100°C ถึง 1090°C
• ห้องคลีนรูม:
  • Class 90,000 (อนุภาค ≥ 0.5 ไมครอน ไม่เกิน 10,000 อนุภาค/ลูกบาศก์ฟุต)
  • ขนาดพื้นที่รวมไม่น้อยกว่า 35 ตารางเมตร
  • ติดตั้งหัวจ่ายลมไนโตรเจน ≥ 1 จุด
  • ติดตั้งหัวจ่ายลม ≥ 1 จุด

• การส่งมอบ: ส่งมอบพัสดุทั้งหมดภายใน 210 วัน นับถัดจากวันลงนามในสัญญา
• การจ่ายเงิน: จ่ายเป็น 1 งวด เมื่อผู้ขายได้ส่งมอบสิ่งของครบถ้วนตามสัญญา และมหาวิทยาลัยได้ตรวจรับมอบเรียบร้อยแล้ว (รวมภาษีมูลค่าเพิ่มและค่าใช้จ่ายอื่น ๆ)
• ค่าปรับ: อัตราร้อยละ 0.20 ของราคาค่าสิ่งของที่ยังไม่ได้รับมอบต่อวัน
• การรับประกัน: รับประกันความชำรุดบกพร่อง 1 ปี นับจากวันที่ผู้ซื้อได้รับมอบสิ่งของทั้งหมด โดยผู้ขายต้องซ่อมแซมภายใน 15 วันนับจากวันที่ได้รับแจ้ง หากไม่ดำเนินการ ผู้ซื้อมีสิทธิดำเนินการเองโดยผู้ขายเป็นผู้ออกค่าใช้จ่าย
• การบำรุงรักษาเชิงป้องกัน: ผู้ขายต้องดำเนินการไม่น้อยกว่าปีละ 2 ครั้ง ตลอดระยะเวลาการรับประกัน

• Q: เครื่องเคลือบฟิล์มบางด้วยเทคนิค ALD สามารถเคลือบสารประเภทใดได้บ้าง?
  A: สามารถเคลือบชั้นเคลือบชนิด Oxide film (เช่น TiO2, HfO2), Nitride film (เช่น TiN, SiN) และ Metallic film (เช่น Ru, Mo)
• Q: มีข้อกำหนดเกี่ยวกับสารตั้งต้น (Precursors) สำหรับเครื่อง ALD หรือไม่?
  A: ตัวเครื่องต้องมีสารประกอบตั้งต้นที่เหมาะสมสำหรับสร้างชั้นอย่างน้อย 2 ชนิด ได้แก่ ไทเทเนียมไดออกไซด์ (TiO2) และฮัฟเนียมออกไซด์ (HfO2)
• Q: ขนาดชิ้นงานสูงสุดที่เครื่อง ALD สามารถเคลือบได้คือเท่าใด?
  A: สามารถเคลือบชิ้นงานตัวอย่างได้ขนาดไม่น้อยกว่า 4 นิ้ว ตามมาตรฐานของแผ่นซิลิกอน
• Q: ข้อกำหนดด้านสุญญากาศของเครื่อง ALD เป็นอย่างไร?
  A: ประสิทธิภาพการทำสุญญากาศในห้องทำปฏิกิริยา (Ultimate pressure) ต้องไม่เกิน 20 mTorr ที่อุณหภูมิห้อง และมีอัตราการรั่วไหล (leak rate) ไม่เกิน 5 mTorr/min
• Q: ผู้ยื่นข้อเสนอต้องมีคุณสมบัติพิเศษอย่างไรบ้าง?
  A: ผู้ยื่นข้อเสนอต้องได้รับการแต่งตั้งให้เป็นตัวแทนจำหน่ายจากผู้ผลิตหรือตัวแทนจำหน่ายในประเทศไทย และต้องยื่นเอกสารหลักฐานในวันยื่นข้อเสนอ
• Q: โครงการนี้มีกำหนดส่งมอบงานภายในระยะเวลากี่วัน?
  A: กำหนดส่งมอบพัสดุหรือให้งานแล้วเสร็จภายใน 210 วัน หลังจากลงนามในสัญญา
• Q: เกณฑ์การพิจารณาข้อเสนอของโครงการนี้คืออะไร?
  A: พิจารณาจากราคาเป็นหลัก (Price)
• Q: มีการกำหนดงวดงานและการจ่ายเงินอย่างไร?
  A: จ่ายเป็น 1 งวด เมื่อผู้ขายส่งมอบพัสดุครบถ้วนตามสัญญาและมหาวิทยาลัยได้ตรวจรับมอบเรียบร้อยแล้ว
• Q: อัตราค่าปรับกรณีส่งมอบงานล่าช้าเป็นเท่าใด?
  A: กำหนดค่าปรับเป็นรายวันในอัตราร้อยละ 0.20 ของราคาค่าสิ่งของที่ยังไม่ได้รับมอบ
• Q: ระยะเวลาการรับประกันความชำรุดบกพร่องของเครื่องมือคือเท่าใด?
  A: รับประกันเป็นเวลา 1 ปี นับถัดจากวันที่ผู้ซื้อได้รับมอบสิ่งของทั้งหมดไว้

ขอบเขตของงาน (Terms of Reference : TOR)
โครงการซื้อเครื่องเคลือบฟิล์มบางด้วยเทคนิคการเคลือบระดับอะตอม
แขวงลาดยาว เขตจตุจักร กรุงเทพมหานคร จํานวน ๑ ชุด ด้วยวิธีประกวดราคาอิเล็กทรอนิกส์ (e-bidding)
ความเป็นมา/หลักการและเหตุผล
เครื่องเคลือบฟิล์มบางด้วยเทคนิคการเคลือบระดับอะตอม เป็นเครื่องมือที่ใช้เพื่อสร้างชั้นเคลือบของ สารประกอบออกไซด์โลหะชั้นบาง ๆ บนพื้นผิววัสดุที่ต้องการ โดยเป็นปฏิกิริยาที่อุณหภูมิต่ํากว่า ๒๐๐ องศาเซลเซียส ที่ ทําภายใต้สภาวะที่เหมาะสม โดยสามารถทําชั้นเคลือบโดยสารประกอบ เช่น สารประกอบออกไซด์บนวัสดุที่ต้องการ
เคลือบ โดยในกระบวนการผลิตฟิล์มบางวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ถือเป็นหัวใจสําคัญในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ (Semiconductor fabrication) ซึ่งส่งผลต่อการเพิ่มสมรรถนะของระบบประมวลผล ซึ่งเป็นกระบวนการเคลือบฟิล์ม บางที่สามารถควบคุมความหนาได้ระดับอะตอม สามารถเคลือบพื้นผิวที่มีรูปร่างซับซ้อน เช่น โครงสร้างนาโน พื้นผิวที่มีรู พรุน หรือวัสดุที่ต้องการความสม่ําเสมอสูง ซึ่งมีความสําคัญในการพัฒนาวัสดุสําหรับเซมิคอนดักเตอร์ และช่วยเพิ่มขีด ความสามารถในการทําวิจัยที่ต้องการเทคโนโลยีการเคลือบระดับสูง เช่น แบตเตอรี่ เซลล์แสงอาทิตย์ อุปกรณ์ทาง
การแพทย์ และวัสดุอัจฉริยะ
การมีเครื่องมือการผลิตฟิล์มบางนี้ จะสามารถเป็นเวทีสําคัญในการฝึกทักษะการปฏิบัติการการปลูกฟิล์ม บางให้กับนิสิตในหลักสูตรวิศวกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ให้มีความเข้าใจและสามารถประยุกต์ใช้ได้จริง ทั้งในกระบวนการ ผลิต semiconductor fabrication เพื่อรองรับหลักสูตร วิศวกรรมเซมิคอนดักเตอร์ (Semiconductor Engineering)
ในการผลิตวิศวกรด้านเซมิคอนดักเตอร์ที่มีคุณภาพสูงตอบโจทย์และเท่าทันกับความต้องการของภาคอุตสาหกรรม ครอบคลุมทั้ง การออกแบบวงจรรวม (Integrated Circuit (IC) Design) และ การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ (Semiconductor Fabrication) ให้มีจํานวนที่มากเพียงพอที่จะสร้างผลกระทบ (Impact) ให้กับ การพัฒนา อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์ขั้นสูง (Semiconductor and Advanced Electronics) ของประเทศ ได้ เพื่อป้อนบัณฑิตเข้าสู่อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ซึ่งเป็น New Growth Engine ของประเทศที่ใช้เทคโนโลยีขั้นสูง และมีมูลค่าสูง ที่เป็นหัวใจสําคัญของหน่วยประมวลผลและผลิตภัณฑ์เทคโนโลยีขั้นสูงในผลิตภัณฑ์ต่างๆ ได้แก่ คอมพิวเตอร์ สมาร์ทโฟน ยานยนต์ไฟฟ้า เครื่องใช้ไฟฟ้าอัจฉริยะ เครื่องมือแพทย์ ระบบอัตโนมัติและหุ่นยนต์ และ เทคโนโลยี AI/ML ต่าง ๆ ซึ่งความท้าทายของประเทศไทย ในการขยับก้าวสู่อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ต้นน้ําที่มี มูลค่าสูงและใช้เทคโนโลยีซับซ้อน จําเป็นต้องมี ต่อการพัฒนาวิศวกรรมเซมิคอนดักเตอร์ที่มีสมรรถนะสูง สามารถพัฒนา เทคโนโลยีเป็นของตนเองได้ ดังนั้น การเตรียมความพร้อมด้านเครื่องมือผลิตและวิเคราะห์วัสดุเซมิคอนดักเตอร์ ถือเป็น
ปัจจัยพื้นฐานสําคัญสําหรับการเสริมสร้างสมรรถนะให้แก่นิสิตในหลักสูตรวิศวกรรมเซมิคอนดักเตอร์
๒. วัตถุประสงค์
เพื่อใช้ประกอบในการเรียนการสอนรายวิชา ๐๑๒๓๙๒๒๓ ฟิล์มบางและเทคโนโลยีสุญญากาศ, รายวิชา ๐๑๒๓๙๓๒๒ พื้นฐานของกระบวนการด้านพลาสม่า, รายวิชา ๐๑๒๓๙๓๒๓ เทคโนโลยีของกระบวนการด้านเซมิคอน ดักเตอร์, รายวิชา ๐๑๒๓๙๓๒๔ ปฏิบัติการกระบวนการผลิตด้านเซมิคอนดักเตอร์, รายวิชา ๐๑๒๓๙๓๙๑ โครงงาน วิศวกรรมเซมิคอนดักเตอร์ และรายวิชา ๐๑๒๓๙๔๙๙ โครงงานวิศวกรรมเซมิคอนดักเตอร์ || รวมไปถึงการวิจัยและ พัฒนาเพื่อพัฒนาเทคโนโลยีฟิล์มบางเซมิคอนดักเตอร์ของตัวเองในอนาคต
นอกจากนี้ ยังช่วยเพิ่มขีดความสามารถในการทําวิจัย พัฒนาเทคโนโลยี และเสริมสร้างความร่วมมือระหว่าง ภาคการศึกษาและอุตสาหกรรม ดังนั้นการลงทุนในเครื่องมือชนิดนี้ไม่เพียงแต่ช่วยพัฒนาองค์ความรู้ในมหาวิทยาลัย แต่
พม.
niña musgoud A
The Mahom
ยังเป็นก้าวสําคัญในการสร้างนวัตกรรมที่สามารถต่อยอดไปสู่ภาคอุตสาหกรรมและพัฒนาเศรษฐกิจของประเทศได้ใน
อนาคต
๓. คุณสมบัติของผู้ยื่นข้อเสนอ
ตามรายละเอียดร่างประกาศ และ ร่างเอกสารประกวดราคา หรือ ตามรายละเอียดประกาศ และ เอกสาร
ประกวดราคา
๔. รายละเอียดคุณลักษณะเฉพาะของพัสดุ
เครื่องเคลือบฟิล์มบางด้วยเทคนิคการเคลือบระดับอะตอม แขวงลาดยาว เขตจตุจักร กรุงเทพมหานคร
จํานวน ๑ ชุด มีรายละเอียดคุณลักษณะเฉพาะของพัสดุ ดังนี้
๔.๑
เครื่องเคลือบฟิล์มบางด้วยเทคนิคการเคลือบระดับอะตอม จํานวน ๑ เครื่อง
๔.๒ เครื่องเขียนวงจรแบบไม่สัมผัสตัวอย่าง
๔.๓ เครื่องคอมพิวเตอร์สําหรับงานประมวลผล
๔.๔ ตู้อบลมร้อน
๔.๕ เครื่องให้ความร้อนและกวนสารละลายด้วยแท่งแม่เหล็ก
๔.๖ กล้องไมโครสโคป
๔.๗ เครื่อง Spin Coater
จํานวน ๑ เครื่อง
จํานวน ๑ เครื่อง
จํานวน ๑ เครื่อง
จํานวน ๑ เครื่อง
จํานวน ๑ เครื่อง
จํานวน ๑ เครื่อง
๔.๘ เครื่องดูดสุญญากาศ (Vacuum Pump)
จํานวน ๑ เครื่อง
๔.๔ อ่างน้ําควบคุมอุณหภูมิ
จํานวน ๑ เครื่อง
๔.๑๐ เครื่องอัลตร้าโซนิค (Ultrasonic Cleaner)
จํานวน ๑ เครื่อง
๔.๑๑ ตู้ควบคุมความชื้น
จํานวน ๑ เครื่อง
๔.๑๒ ตู้สําหรับเก็บสารเคมี
จํานวน ๑ ตู้
บ
๔.๑๓ โต๊ะสแตนเลส
๔.๑๔ เก้าอี้สแตนเลส
จํานวน ๓ ตัว
จํานวน ๓ ตัว
๔.๑๕ ตู้ดูดไอสารเคมี (FUME HOOD)
จํานวน ๑ ตู้
๔.๑๖ เครื่องสํารองไฟ ขนาด ๓ kVA
๔.๑๗ เตาเผาไฟฟ้าอุณหภูมิสูง
จํานวน ๑ เครื่อง
จํานวน ๑ เครื่อง
๔.๑ เครื่องเคลือบฟิล์มบางด้วยเทคนิคการเคลือบระดับอะตอม จํานวน ๑ เครื่อง มีคุณสมบัติดังนี้
๔.๑.๑ ตัวเครื่องรองรับการสร้างชั้นเคลือบดังนี้
(๑) ชนิด ออกไซด์ (Oxide film) เช่น TiO / HfO./ ALLO
(๒) ชนิด ไนไตรด์ (Nitride film) เช่น TiN / TiALN / SiN / AIN
(๓) ชนิด โลหะ (Metallic film) เช่น Ru / Mo/ Pt
๔.๑.๒ ตัวเครื่องมีสารประกอบตั้งต้น (Precursors) ที่เหมาะสมสําหรับการสร้างชั้นอย่างน้อย ๒ ชนิด
ได้แก่ ไทเทเนียมไดออกไซด์ (TiO,) และฮัฟเนียมออกไซด์ (HfO)
๔.๑.๓ ตัวเครื่องสามารถเคลือบชิ้นงานตัวอย่างได้ขนาดไม่น้อยกว่า ๔ นิ้ว ตามมาตรฐานของแผ่นซิลิกอน ๔.๑.๔ ตัวเครื่องมีระบบ Load lock สําหรับการนําชิ้นงานเข้าตัวอย่าง จํานวน ๑ ช่อง มีรายละเอียดดังนี้
(๑) มีช่องใส่ตัวอย่างทําจากวัสดุอลูมิเนียมเกรดที่ใช้ในงานสุญญากาศ
(๒) มีท่อสําหรับแก๊สไนโตรเจนสําหรับไล่อากาศภายในช่องใส่ตัวอย่าง (๓) มีอุปกรณ์วัดความดันภายในแบบ Convectron gauge หรือดีกว่า (๔) มีประสิทธิภาพการทําสุญญากาศที่ (Ultimate pressure) ๔ ๕o mTorr
she porchom
wad mus
WA
3
หม
(๕) มีค่าอัตราการรั่วไหลที่ (leak rate) ≤๕ mTorr/min
(๖) มีระบบ Auto wafer Handling
๔.๑.๕ ตัวเครื่องเคลือบมีห้องทําปฏิกิริยาทําจากวัสดุ SUS๓๐๔ ๔.๑.๖ ตัวเครื่องมีระบบให้ความร้อนที่ตําแหน่งต่าง ๆ ดังนี้
(๑)
มีระบบให้ความร้อนที่ตําแหน่งวางวัสดุที่จะทําการเคลือบ (Stage Heater)
(๒) มีระบบให้ความร้อนในห้องทําปฏิกิริยา (Chamber Heater)
(๓) มีระบบให้ความร้อนสําหรับท่อลําเลียงสาร (Pumping Line)
๔.๑.๗ ระบบปั๊มสามารถควบคุมได้ผ่าน software โดยใช้ท่อ NW ๔๐ Stainless และมี Leak Check
port
๔.๑.๘ ระบบปั๊มสามารถควบคุมได้ผ่าน software โดยใช้ท่อ NW ๔๐ Stainless และมี Leak Check
port
๔.๑.๙ มีหัววัดสุญญากาศภายในห้องทําปฏิกิริยา ชนิด Convectron Gauge และมี ATM Switch ๔.๑.๑๐ มี Vent Line ที่สามารถควบคุมได้ผ่าน software
๔.๑.๑๑ ภายในห้องทําปฏิกิริยามีประสิทธิภาพการทําสุญญากาศที่ (Ultimate pressure) ๔ ๒o mTorr
ที่อุณหภูมิห้อง
๔.๑.๑๒ ภายในห้องทําปฏิกิริยามีอัตราการรั่วไหลที่ (leak rate) ≤ ๕ mTorr/min ๔.๑.๑๓ ใช้อาร์กอน (Ar) เพื่อเป็น Carrier Gas
๔.๑.๑๔ มีระบบลําเลียงแก๊สให้ตัวเครื่องแบบ
วเครื่องแบบ Conventional type (Plumbing) และ Process type ถูก ออกแบบมาสําหรับกระบวนการ Thermal ALD (Atomic Layer Deposition)
๔.๑.๑๕ สารตั้งต้น (Precursor supply) มีชุดบับเบลอร์ (bubbler) อย่างน้อย ๓ ชุด แต่ละกระบอกบับ
เบลอร์ มีอุณหภูมิการทํางานสูงสุดไม่น้อยกว่า ๑๕๐°C มีความจุไม่น้อยกว่า ๒๐๐ ซีซี โดยมีตัวทํา ความร้อนแบบฮีตเตอร์ยาง (Rubber Heater) และมีท่อแก๊สออกแบบให้ทนต่ออุณหภูมิได้สูงสุด ไม่น้อยกว่า ๑๕๐°C พร้อมตัวทําความร้อนแบบรัดท่อ (Band Heater)
๔.๑.๑๖ ไอระเหย (Vapor) สําหรับการลําเลียงสารตั้งต้น อย่างน้อย ๑ ชุด โดยชุดไอระเหยทํางานที่ อุณหภูมิห้อง มีความจุไม่น้อยกว่า ๒๐๐ ซีซี และท่อแก๊สที่เชื่อมต่อทํางานที่อุณหภูมิห้อง โดยไม่
ต้องให้ความร้อน
๔.๑.๑๗ สารทําปฏิกิริยา (Reactant) มีชุดไอระเหยสําหรับ HO อย่างน้อย ๑ ชุด โดยกระบอกทํางานที่ อุณหภูมิห้อง มีความจุไม่น้อยกว่า ๒๐๐ ซีซี และท่อแก๊สได้รับการออกแบบให้ทํางานที่อุณหภูมิ สูงสุดไม่น้อยกว่า ๑๕๐ °C พร้อมตัวทําความร้อนแบบรัดท่อ (Band Heater)
๔.๑.๑๘ มีระบบแสดงผล Operation monitor LCD ขนาดไม่น้อยกว่า ๑๕ นิ้ว
๔.๑.๑๙ มีระบบควบคุมและจอแสดงผลต่าง ๆ ของตัวเครื่อง
ๆ
๔.๑.๒๐ มีระบบความปลอดภัย และระบบ Interlock ในการทํางาน
๔.๑.๒๑ มีถังหรืออุปกรณ์สําหรับทิ้งสารเคมีชนิดกรดต้องใช้ถังหรือภาชนะพิเศษที่ทําจากวัสดุที่ทนทานต่อ การกัดกร่อน เช่น พลาสติกชนิดโพลีเอทิลีนความหนาแน่นสูง (HDPE) หรือโพลีโพรพิลีน (PP) หรือดีกว่า เพื่อความปลอดภัยสูงสุดและป้องกันการรั่วไหล ปริมาตรไม่น้อยกว่า ๑๕ ลิตร
จํานวน ๑ ถัง
ด
๔.๑.๒๒ มีถังหรืออุปกรณ์สําหรับทิ้งสารเคมีชนิดเบสต้องใช้ถังหรือภาชนะพิเศษที่ทําจากวัสดุที่ทนทานต่อ การกัดกร่อน เช่น พลาสติกชนิดโพลีเอทิลีนความหนาแน่นสูง (HDPE) หรือโพลีโพรพิลีน (PP)
๔
หรือดีกว่า เพื่อความปลอดภัยสูงสุดและป้องกันการรั่วไหล ปริมาตรไม่น้อยกว่า ๑๕ ลิตร จํานวน ๑ ถัง
๔.๑.๒๓ ถังหรืออุปกรณ์สําหรับทิ้งสารเคมีชนิดเจือจางต้องใช้ถังที่ออกแบบมาเพื่อบรรจุของเสียสารเคมี อันตราย ซึ่งควรเลือกใช้ถังที่ทําจากวัสดุที่ทนต่อการกัดกร่อน เช่น Polyethylene (PE) หรือ ดีกว่า ปริมาตรไม่น้อยกว่า ๑๕ ลิตร จํานวน ๑ ถัง
๔.๑.๒๔ มีถังพลาสติก HDPE สําหรับบรรจุน้ําบริสุทธิ์ พร้อมระบบดูดจ่ายน้ําแบบกด ปริมาตรไม่น้อยกว่า
๒๐ ลิตร จํานวน ถัง
๔.๑.๒๕ มีแผ่น Silicon wafer ขนาดไม่น้อยกว่า ๒ นิ้ว (มาตรฐานแผ่น Si Wafer) N-type ไม่น้อยกว่า
๑๐ แผ่น
๔.๑.๒๖ มีแผ่น Silicon wafer ขนาดไม่น้อยกว่า ๒ นิ้ว (มาตรฐานแผ่น Si Wafer) P-type ไม่น้อยกว่า
๑๐ แผ่น
๔.๑.๒๗ มีอุปกรณ์สําหรับตัดแผ่นเวเฟอร์ ด้วยหัวตัดชนิดเพชร จํานวน ๑ ชุด
๔.๑.๒๘ ผู้ยื่นข้อเสนอต้องได้รับการแต่งตั้งให้เป็นตัวแทนจําหน่ายจากผู้ผลิตหรือตัวแทนจําหน่ายใน
ประเทศไทย โดยยื่นเอกสารหลักฐานในวันยื่นข้อเสนอ
๔.๑.๒๙ ผู้ขายต้องดําเนินการบํารุงรักษาเชิงป้องกัน (Preventive Maintenance) ไม่น้อยกว่าปีละ
๒ ครั้ง ตลอดระยะเวลาการรับประกัน พร้อมจัดทํารายงานผลการดําเนินงานส่งมอบให้ผู้ว่าจ้าง
๔.๒ เครื่องเขียนวงจรแบบไม่สัมผัสตัวอย่าง จํานวน ๑ เครื่อง มีคุณสมบัติดังนี้
๔.๒.๑ สามารถรองรับชิ้นงานขนาดไม่น้อยกว่า ๔๕๔ นิ้ว
๔.๒.๒ รองรับการจัดวางตําแหน่งหรือขีดเขียนลวดลายจากด้านบน (Top Side) ๔.๒.๓ มีระยะการเคลื่อนที่ของมอเตอร์ สูงสุด ไม่น้อยกว่า ๑๑๕ มิลลิเมตร หรือดีกว่า ๔.๒.๔ ความสามารถในการทําการ Exposed ที่พื้นที่สูงสุด ไม่น้อยกว่า ๑๐๖ x ๑๐๖ มิลลิเมตร ๔.๒.๕ มีค่าความแม่นยําในการทํางานซ้ํา (Repeatability) น้อยกว่า ๑.๓ ไมโครเมตร
๔.๒.๖ มีค่าความละเอียดในการเขียน (Encode resolution) ไม่เกิน ๓ ไมโครเมตร ๔.๒.๗ มีค่าความละเอียดในการจัดตําแหน่ง (Alignment resolution) ไม่เกิน ไมโครเมตร ๔.๒.๘ มีค่าความละเอียดในแกน Z (Z resolution) ไม่เกิน ๑๐ นาโนเมตร
๔.๒.๔ ค่า Grayscale levels ไม่น้อยกว่า 4 Bit
๔.๒.๑๐ มีค่า Autofocus wavelength ในช่วง +๑๐๐ ไมโครเมตร
๐.๑
๔.๒.๑๑ ความเร็วในการเคลื่อนที่ของหัวเขียน (Writing speed) อย่างน้อย ๒ มิลลิเมตรต่อวินาที
๔.๒.๑๒ สามารถรองรับการใช้งานกับเวเฟอร์หนา ๐-๑๐ มิลลิเมตร ได้
๔.๒.๑๓ มีชุดแหล่งกําเนิดแสง (Light source) ที่ความยาวคลื่น ๔๐๕ นาโนเมตร
๔.๒.๑๔ เป็นเครื่องชนิดตั้งโต๊ะ เพื่อความสะดวกในการติดตั้งและใช้งาน
๔.๒.๑๕ ตัวเครื่องมีขนาดไม่เกิน ๕๘๐๗๐๘๕๖๐๐ มิลลิเมตร เพื่อความสะดวกในการติดตั้งและไม่เปลือง
พื้นที่ใช้งาน
๔.๒.๑๖ เครื่องสามารถทํางานได้กับระบบไฟฟ้า ๒๒๐-๒๔๐ โวลต์ ๕๐ เฮิรตซ์
๔.๒.๑๗ ตัวเครื่องเขียนวงจรแบบไม่สัมผัสตัวอย่างสามารถรองรับ ไฟล์ภาพชนิด BMP, PNG, TIFF, GDS
หรือมากกว่า
๔.๒.๑๘ ผู้ยื่นข้อเสนอต้องได้รับการแต่งตั้งให้เป็นตัวแทนจําหน่ายจากผู้ผลิตหรือตัวแทนจําหน่ายใน
ประเทศไทย โดยยื่นเอกสารหลักฐานในวันยื่นข้อเสนอ
ผม
шенфел
when shor
๕
๔.๒.๑๙ ผู้ขายต้องดําเนินการบํารุงรักษาเชิงป้องกัน (Preventive Maintenance) ไม่น้อยกว่าปีละ
๒ ครั้ง ตลอดระยะเวลาการรับประกัน พร้อมจัดทํารายงานผลการดําเนินงานส่งมอบให้ผู้ว่าจ้าง
๔.๓ เครื่องคอมพิวเตอร์สําหรับงานประมวลผล จํานวน ๑ เครื่อง มีคุณสมบัติดังนี้
๔.๓.๑ มีหน่วยประมวลผลกลาง (CPU) แบบ ๑๖ core และ ๒๔ Thread และมีเทคโนโลยีเพิ่มสัญญาณ นาฬิกาได้ในกรณีที่ต้องใช้ความสามารถใน การประมวลผลสูง (Turbo Boost หรือ Max Boost) โดยมีความเร็วสัญญาณนาฬิกาสูงสุดไม่น้อยกว่า ๔.๘ GHz จํานวน ๑ หน่วย
๔.๓.๒ มีหน่วยความจําแบบ Cache Memory ขนาดไม่น้อยกว่า ๒๕ MB ๔.๓.๓ มีหน่วยความจําหลัก (RAM) ชนิด DDR๔ หรือดีกว่า ขนาดไม่น้อยกว่า 4 GB ๔.๓.๔ มีหน่วยประมวลผลเพื่อแสดงภาพ โดยมีคุณลักษณะอย่างใดอย่างหนึ่ง หรือดีกว่าดังนี้
(๑) มีหน่วยประมวลผลเพื่อแสดงภาพแยกจากหน่วยประมวลผลหลัก
ที่มีหน่วยความจํา ขนาดไม่น้อยกว่า ๒ GB
(๒) มีหน่วยประมวลผลเพื่อแสดงภาพติดตั้งอยู่ภายในหน่วยประมวลผลกลาง
ที่สามารถใช้หน่วยความจําหลักในการแสดงภาพ
๔.๓.๕ มีหน่วยจัดเก็บข้อมูลขนาดความจุรวมไม่น้อยกว่า ๑ TB ประกอบด้วย
(๑) หน่วยจัดเก็บข้อมูลชนิด SATA ขนาดความจุไม่น้อยกว่า ๑ TB
(๒) หน่วยจัดเก็บข้อมูลชนิด Solid State Drive (SSD) ขนาดความจุไม่น้อยกว่า ๕๑๒ GB ๔.๓.๖ มีช่องเชื่อมต่อระบบเครือข่าย (Network Interface) แบบ ๑๐/๑๐๐/๑๐๐๐ Base-T
จํานวน ๑ ช่อง
๔.๓.๗ มีช่องเชื่อมต่อ (Interface) แบบ USB ๒๐ หรือดีกว่า ไม่น้อยกว่า ๓ ช่อง
๔.๓.๘ มีช่องเชื่อมต่อแบบ HDMI จํานวนอย่างน้อย ๑ ช่อง
๔.๓.๙ มีแป้นพิมพ์ และ เมาส์
๔.๓.๑๐ มีจอแสดงภาพขนาดไม่น้อยกว่า ๑๙ นิ้ว
๔.๓.๑๑ มีระบบปฏิบัติ Windows ๑๑ หรือ ใหม่กว่า ที่มีลิขสิทธิ์ถูกต้อง
๔.๔ ตู้อบลมร้อน จํานวน ๑ เครื่อง มีคุณสมบัติดังนี้
๔.๔.๑ ตู้อบความร้อนไฟฟ้าที่ทําด้วยโลหะสแตนเลสสตีล ทั้งภายในและภายนอกโดยมีแผ่นภายนอก
ด้านหลังทําด้วยเหล็กเคลือบกันสนิม
๔.๔.๒ สามารถควบคุมอุณหภูมิได้ตั้งแต่ ๕ องศาเซลเซียส เหนืออุณหภูมิห้อง ถึง ๓๐๐ องศาเซลเซียส มี ความละเอียดในการปรับตั้ง ๑.๑ องศาเซลเซียส ในช่วงไม่เกิน ๙๙.๙ องศาเซลเซียส และตั้งแต่ ช่วง ๑๐๐ องศาเซลเซียส สามารถปรับครั้งละ ๐.๕ องศาเซลเซียส
๔.๔.๓ มีขนาดความจุประมาณ ๕๓ ลิตร โดยมีขนาดภายใน (กว้าง x สูง x ลึก) ๔๐ x ๔๐x ๓๓ เซนติเมตร มีระบบป้องกันอันตรายจากอุณหภูมิสูงเกิน
๔.๔.๔ มีระบบควบคุมอุณหภูมิเป็นแบบ PID Microprocessor controller ๔.๔.๕ มีประตูเปิด-ปิด ตู้ทําด้วยสแตนเลสสตีลแบบบานเดี่ยว
๔.๔.๖ แสดงอุณหภูมิเป็นตัวเลขเรืองแสง แบบ TFT-colour display
๔.๔.๗ มีสวิทปิด-เปิด ด้านบนของตัวเครื่องและเลือกคําสั่งโดยระบบสัมผัสพร้อมปุ่มควบคุมคําสั่ง ๔.๔.๔ ผนังภายในสามารถวางชั้นได้ไม่น้อยกว่า ๔ ชั้น
๔.๔.๙ มีชั้นวางของทําด้วยสแตนเลสตีล จํานวน ๑ ชั้น ถอดเข้า-ออก และสามารถปรับระดับสูง-ต่ํา ๔.๔.๑๐ ใช้ไฟฟ้า ๒๒๐-๒๔๐ โวลต์, ๕๐/50 เฮิรตซ์
งา
wan marfound 15
zh vor.
๖
๔.๔.๑๑ ผู้ยื่นข้อเสนอต้องได้รับการแต่งตั้งให้เป็นตัวแทนจําหน่ายจากผู้ผลิตหรือตัวแทนจําหน่ายใน
ประเทศไทย โดยยื่นเอกสารหลักฐานในวันยื่นข้อเสนอ
๔.๕ เครื่องให้ความร้อนและกวนสารละลายด้วยแท่งแม่เหล็ก จํานวน ๑ เครื่อง มีคุณสมบัติดังนี้
๔.๕.๑ เป็นเครื่องกวนสารด้วยแม่เหล็ก พร้อมให้ความร้อนในเครื่องเดียวกัน
๔.๕.๒ การปรับอุณหภูมิและความเร็วรอบในการกวนเป็นแบบปุ่มหมุนแยกกัน ๔.๕.๓ เป็นเครื่องกวนสารชนิดแม่เหล็ก ปริมาณการกวนไม่น้อยกว่า ๑๐ ลิตร ๔.๕.๔ การปรับความเร็วรอบในการกวนสาร ตั้งแต่ ๑๐๐ - ๑,๕๐๐ รอบต่อนาที หรือดีกว่า ๔.๕.๕ สามารถทําอุณหภูมิได้สูงสุดไม่น้อยกว่า ๕๐๐ องศาเซลเซียส
๔.๕.๖ แผ่นวางขนาดไม่น้อยกว่า ๑๘๐ x ๑๘๐ mm
๔.๕.๗ วัสดุแผ่นทําจากเซรามิคหรือดีกว่า
๔.๕.๘ ระดับการป้องกันตามมาตรฐาน DIN EN ๖๐๕๒๙ IP๒๑ ๔.๕.๙ แท่งแม่เหล็ก ๓ แท่ง
๔.๕.๑๐ ผู้ยื่นข้อเสนอต้องได้รับการแต่งตั้งให้เป็นตัวแทนจําหน่ายจากผู้ผลิตหรือตัวแทนจําหน่ายใน
ประเทศไทย โดยยื่นเอกสารหลักฐานในวันยื่นข้อเสนอ
๔.๖ กล้องไมโครสโคป จํานวน ๑ เครื่อง มีคุณสมบัติดังนี้
๔.๖.๑ ตัวกล้องมีกําลังขยายในช่วงเท่ากับ ๖.๗ – ๔๕ เท่า และมี Zoom ratio เท่ากับ ๖.๗ : 9
๔.๖.๒ กล้องสามารถปรับกําลังขยายแบบ manual
๔.๖.๓ ตัวกล้องมีระบบทางเดินแสงแบบ Galilean
๔.๖.๔ เลนส์วัตถุกําลังขยาย ๑ เท่า มีค่า N.A. เท่ากับ 0.๑ และค่า W.D. เท่ากับ ๙๐ มิลลิเมตร ๔.๖.๕ เลนส์ตาชนิดเห็นภาพกว้างปกติ มีกําลังขยาย ๑๐ เท่า มีพื้นที่การมองเห็นเท่ากับ
๒๒ มิลลิเมตร จํานวน ๒ ข้าง
๔.๖.๖ หัวกล้องเป็นชนิด ๒ กระบอกตา (Trinocular tube) มีกระบอกตาตรงสําหรับติดอุปกรณ์
ถ่ายภาพ กระบอกตาคู่เอียง ๔๕ องศา, มีปุ่มปรับเปลี่ยนทิศทางเดินของแสงได้ ๒ วิธี คือ ระหว่างตากับจอ แบ่งเป็น ๑๐๐%, และ ๕๐% / ๕๐%
๔.๖.๗ ฐานกล้องเป็นแบบ Universal stand โดยสามารถปรับระดับความสูงต่ํา และสามารถเลื่อนหน้า
หลังได้
๔.๖.๘ มีไฟส่องสว่างเป็นชนิดวงแหวน LED ปุ่มปรับความสว่างแยกออกจากไฟ
๔.๖.๙ ผู้ยื่นข้อเสนอต้องได้รับการแต่งตั้งให้เป็นตัวแทนจําหน่ายจากผู้ผลิตหรือตัวแทนจําหน่ายใน
ประเทศไทย โดยยื่นเอกสารหลักฐานในวันยื่นข้อเสนอ
๔.๗ เครื่อง Spin Coater จํานวน ๑ เครื่อง มีคุณสมบัติดังนี้
๖
๔.๗.๑ สามารถเคลือบผิวบนตัวอย่างวงกลม ที่มีขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางสูงสุด 5 นิ้ว หรือตัวอย่าง
สี่เหลี่ยม ที่มีขนาดสูงสุด ๔ x ๔ ๔ นิ้ว
๔.๗.๒ ตัวเครื่องทําจากวัสดุ NPP (Natural Polypropylene) ที่สามารถทนการกัดกร่อนของสารเคมีได้
(Chemical Resistance) หรือดีกว่า
๔.๗.๓ ฝาเครื่องมีลักษณะใส สามารถมองเห็นการทํางานภายในเครื่อง และมีช่องตรงกลาง (Center
injection holder) สําหรับฉีดสารเคลือบด้วยกระบอกฉีด (Syringe)
๔.๗.๔ มีระบบล็อคฝาเครื่องตลอดเวลาในขณะที่เครื่องกําลังทํางาน เพื่อป้องกันการเกิดอันตราย หรือ
ตัวอย่างแตกเสียหายได้
๔.๗.๕ มีปุ่มปลดล็อค (Unlock) ที่หน้าจอบนเครื่อง สําหรับการเปิดฝาเครื่อง
หมา
sh
Nothozon
๗
๔.๗.๖ มีชุดกรองดักจับของเหลว (Liquid filter trap) เพื่อป้องกันไม่ให้ของเหลวเข้าสู่ระบบสุญญากาศ
(Vacuum line)
๔.๗.๗ สามารถควบคุมการทํางานผ่านทางหน้าจอสัมผัสแบบสี (Large touchscreen display) โดยเป็น
หน้าจอที่สามารถทนต่อสารเคมีได้
๔.๗.๘ สามารถตั้งโปรแกรมขั้นตอนการทํางาน เช่น ความเร็วรอบการหมุน ความเร่ง และเวลา ผ่าน
หน้าจอสัมผัสแบบสี
๔.๗.๔ สามารถตั้งค่าความเร็วรอบการหมุนเหวี่ยงได้ ตั้งแต่ ๑ - ๑๐,000 rpm
๔.๗.๑๐ สามารถตั้งค่าอัตราเร่ง ได้ตั้งแต่ ๑ - ๓๐,000 rpm/sec
mo,ooo
๔.๗.๑๑ สามารถควบคุมการเปิดและปิดระบบสุญญากาศได้
๔.๗.๑๒ มีช่องเชื่อมต่อชนิด USB (USB port) สําหรับบันทึกโปรแกรมการทดสอบ (Recipe) บน USB
drive
๔.๗.๑๓ ใช้ไฟฟ้า ๒๐๐ - ๒๔๐ VAC, ๕๐ Hz
๔.๗.๑๔ ชุดจับยึดตัวอย่าง ประกอบด้วย
(๑) Chuck ชนิดสุญญากาศ (Vacuum chuck) สําหรับจับยึดตัวอย่าง จํานวน ๑ ชิ้น (๒) Adapter สําหรับจับยึดตัวอย่างขนาดเล็ก (Fragment adapter) จํานวน 9 ชิ้น
(๓) ชุดพลาสติกกันเลอะ (Transparent liner) จํานวน ๑ ชุด
๔.๗.๑๕ ผู้ยื่นข้อเสนอต้องได้รับการแต่งตั้งให้เป็นตัวแทนจําหน่ายจากผู้ผลิตหรือตัวแทนจําหน่ายใน
ประเทศไทย โดยยื่นเอกสารหลักฐานในวันยื่นข้อเสนอ
๔.๔ เครื่องดูดสุญญากาศ (Vacuum Pump) จํานวน ๑ เครื่อง มีคุณสมบัติดังนี้
๔.๔.๑ เป็นเครื่องดูดสุญญากาศ ชนิดไม่ใช้น้ํามัน (Oil Free)
๔.๔.๒ มีอัตราการดูด ไม่น้อยกว่า ๑๒ ลิตรต่อนาที
๔.๔.๓ มีตัวดักจับความชื้น (Moisture trap)
๔.๙ อ่างน้ําควบคุมอุณหภูมิ จํานวน ๑ เครื่อง มีคุณสมบัติดังนี้
๔.๔.๑ เป็นอ่างน้ําที่ควบคุมอุณหภูมิที่ออกแบบสําหรับใช้ในห้องทดลองทําด้วยโลหะสแตนเลสสตีลทั้ง
ภายในและภายนอก
๔.๔.๒ สามารถควบคุมอุณหภูมิได้ตั้งแต่ ๕ องศาเซลเซียส เหนืออุณหภูมิห้องถึง
ค่าความละเอียดในการปรับตั้ง ๑.๑ องศาเซลเซียส
๑๐๐ องศาเซลเซียส ตั้ง
๔.๔.๓ มีขนาดความจุไม่น้อยกว่า ๒๓ ลิตร โดยมีขนาดภายในของอ่างน้ําประมาณ ยาว x กว้าง x สูง ไม่
น้อยกว่า ๔๗ x ๒๖ x ๒๐ เซนติเมตร
๔.๔.๔ มีหน้าจอสีขนาดไม่ต่ํากว่า ๓.๕ นิ้ว ควบคุมการสั่งงานด้วยระบบสัมผัส
๔.๔.๕ มีฝาเปิด-ปิดอ่างด้านบนลาดเอียง หรือ โค้ง
๔.๔.๖ สามารถตั้งเวลาทํางานได้ตั้งแต่ ๑ นาที ถึง ๙๙ ชั่วโมง
๔.๔.๗ แสดงอุณหภูมิเป็นตัวเลขเรืองแสงพร้อมทั้งระบบป้องกันอุณหภูมิสูงเกินเมื่อเกิดเหตุผิดปกติ
ภายในตัวเครื่อง
๔.๔.๘ ชุดให้ความร้อนและเซนเซอร์อยู่ภายนอกตัวอ่างน้ํา
๔.๔.๙ ใช้ไฟฟ้า ๒๒๐ โวลต์, ๕๐/๖๐ Hz
๔.๑๐ เครื่องอัลตร้าโซนิค (Ultrasonic Cleaner) จํานวน ๑ เครื่อง มีคุณสมบัติดังนี้
๔.๑๐.๑ เครื่องมีปริมาณไม่น้อยกว่า ๖.๕ ลิตร ทําให้ใส่สิ่งของที่ทําความสะอาดได้จํานวนมาก ๔.๑๐.๒ เครื่องมีความถี่ของอัลตร้าโซนิค (Ultrasonic Frequency) ไม่น้อยกว่า ๔๐ กิโลเฮิรตซ์
zh shower.
เม
LI
๔.๑๐.๓ มีกําลังของ Heating Power ไม่น้อยกว่า ๓๐๐ วัตต์
๔.๑๐.๔ หน้าจอแสดงผล Digital แสดงอุณหภูมิและเวลาแยกจากกันทําให้ง่ายต่อการสังเกต ๔.๑๐.๕ สามารถตั้งเวลาทําความสะอาดได้ตั้งแต่ 0 ถึง ๔๐ นาที หรือมากกว่า
๔.๑๐.๖ สามารถตั้งค่าอุณหภูมิได้ตั้งแต่
๐ - ๘๐°C
๔.๑๐.๗ ตัวเครื่องผลิตจากวัสดุที่แข็งแรงทนทาน
๔.๑๑ ตู้ควบคุมความชื้น จํานวน ๑ เครื่อง มีคุณสมบัติดังนี้
๔.๑๑.๑ เป็นตู้ที่สามารถควบคุมความชื้นได้อัตโนมัติ โดยไม่ต้องใช้สารดูดความชื้นใส่เข้าไปในตู้เหมาะ
สําหรับเก็บรักษาอุปกรณ์/วัสดุ หรือสารเคมีที่ต้องเก็บในสภาพความชื้นต่ํา
๔.๑๑.๒ ควบคุมความชื้นด้วยระบบ T.E. Cooling System
๔.๑๑.๓ แสดงค่าความชื้น และอุณหภูมิภายในตู้เป็นตัวเลขไฟฟ้า (LED) และสามารถมองเห็นได้ชัดเจน
จากภายนอกตู้
๔.๑๑.๔ แผงควบคุมความชื้นใช้งานสะดวก และมีจอแสดงการทํางาน (LED display of humidity) ๔.๑๑.๕ สามารถปรับค่าความชื้นภายในตู้ได้ในช่วง ๒๐ – ๖๐ %RH โดยละเอียด ขึ้น – ลง ทีละ ๑ %RH ๔.๑๑.๖ โครงสร้างของตู้ทําด้วยโลหะหนาไม่น้อย ๑ มม.
๔.๑๑.๗ ประตูตู้กรอบทําด้วยพลาสติกสีดํา ด้านหน้าเป็นกระจกใสนิรภัยหนาไม่น้อยกว่า ๕ มม. มีมือจับ
สะดวกในการเปิดประตูตู้ และมีกุญแจสําหรับปิดล็อค จํานวน ๑ ชุด
๔.๑๑.๔ ขาตู้ด้านหน้าสามารถปรับระนาบได้
๔.๑๒ ตู้สําหรับเก็บสารเคมี จํานวน ๑ ตู้ มีคุณสมบัติดังนี้
๔.๑๒.๑ ตู้มีขนาดไม่น้อยกว่า กว้าง x ลึก x สูง ๘๐๐ x ๓๐๐ x ๑,๐๐๐ มม.
๔.๑๒.๒ โครงสร้างตัวตู้ภายนอกทําด้วยแผ่นเหล็กรีดเย็น ชุบซิงค์ฟอสเฟตเคลือบกันสนิม หรือดีกว่า
๔.๑๒.๓ ผนังภายในตู้เก็บสารเคมีด้านหลังเจาะรูสําหรับระบายอากาศขนาดเท่า ๆ กัน
๔.๑๒.๔ บานประตูตู้เป็นกระจกนิรภัย หนาไม่น้อยกว่า 5 มม.
๔.๑๒.๕ ภายในมีชั้นวางของภายในตู้ (SHELF) สามารถปรับระดับความสูงได้
๔.๑๓ โต๊ะสแตนเลส จํานวน ๓ ตัว มีคุณสมบัติดังนี้
๔.๑๓.๑ โต๊ะสแตนเลสขนาดไม่น้อยกว่า กว้าง x ลึก x สูง 50 x 50 x ๗๐ cm ๔.๑๓.๒ ผลิตจาก Stainless Steel mo๔ เสริมความแข็งแรงด้านล่าง หรือดีกว่า
๔.๑๓.๓ ขอบเรียบเพื่อความปลอดภัยระหว่างการใช้งาน
๔.๑๔ เก้าอี้สแตนเลส จํานวน ๓ ตัว มีคุณสมบัติดังนี้
๔.๑๔.๑ เก้าอี้สแตนเลสใช้ในห้องคลีนรูม กันไฟฟ้าสถิต ขาปรับได้ สูง ๔๔ - ๖๘ ซม หรือดีกว่า
๔.๑๕ ตู้ดูดไอสารเคมี (FUME HOOD) จํานวน ๑ ตู้ มีคุณสมบัติดังนี้
๔.๑๕.๑ สําเร็จรูปสําหรับดูดไอกรดและสารเคมีเป็นพิษ
๔.๑๕.๒ ตู้ดูดควันส่วนบนมีขนาดไม่น้อยกว่า ๑.๒๐ X 0.00 X 0.๗๕ เมตร (กว้าง x สูง x ลึก) ๔.๑๕.๓ ตู้ดูดควันส่วนล่างมีขนาดไม่น้อยกว่า ๑.๒๐ x ๑.๘๐ x ๑.๗๕ เมตร (กว้าง x สูง x ลึก) ๔.๑๕.๔ โครงสร้างตู้ดูดควันส่วนล่างมีความแข็งแรง ตัวตู้สามารถติดตั้งในห้องสะอาด ได้
๔.๑๖ เครื่องสํารองไฟ ขนาด ๓ KVA จํานวน ๑ เครื่อง มีคุณสมบัติดังนี้
๔.๑๖.๑ มีกําลังไฟฟ้าขาออก (Output) ไม่น้อยกว่า ๓ kVA (๒,๑๐๐ Watts) ๔.๑๖.๒ มีช่วงแรงดันไฟฟ้า Input (VAC) ไม่น้อยกว่า ๒๒๐+/-๒๕% ๔.๑๖.๓ มีช่วงแรงดันไฟฟ้า Output (VAC) ไม่น้อยกว่า ๒๒๐+/-๕%
oh whow.
๔.๑๖.๔ สามารถสํารองไฟฟ้าที่ Full Load ได้ไม่น้อยกว่า ๕ นาที
๔.๑๗ เตาเผาไฟฟ้าอุณหภูมิสูง จํานวน ๑ เครื่อง มีคุณสมบัติดังนี้
๔.๑๗.๑ เป็นเตาเผาอุณหภูมิสูงชนิดตั้งโต๊ะขนาดเล็ก แบบฝาเปิดลงด้านหน้า (Drop-down door) ๔.๑๗.๒ มีขนาดเครื่องรอบนอก มีขนาดไม่น้อยกว่า กว้าง ๒๕ เซนติเมตร สูง ๓๗ เซนติเมตร
ยาว ๔๐ เซนติเมตร
๔.๑๗.๓ มีขนาดภายในห้องเผา ขนาดไม่น้อยกว่ากว้าง ๑๒.๗ เซนติเมตร สูง ๑๐.๘ เซนติเมตร ลึก
๑๕.๒เซนติเมตร
๔.๑๗.๔ มีขนาดความจุภายในไม่น้อยกว่า ๒๐ ลิตร
๔.๑๗.๕ ผนังรอบนอกตัวเครื่องทําจากวัสดุที่ทนความร้อนได้เป็นอย่างดี
๔.๑๗.๖ ตัวเครื่องประกอบไปด้วยจุดให้ความร้อน ๓ ตําแหน่ง คือ ที่ด้านบน ด้านซ้ายและด้านขวา
ของ ตัวเครื่อง ซึ่งทําให้ภายในตัวเครื่องมีอุณหภูมิสม่ําเสมอ ๔.๑๗.๗ ความสม่ําเสมอของอุณหภูมิ (Temperature Uniformity) ภายในตัวเครื่อง

• ๕.๐ องศาเซลเซียส ที่อุณหภูมิ ๑๐๐๐ องศาเซลเซียส
  ๔.๑๗.๘ ความคงที่ของอุณหภูมิ (Temperature Stability) ภายในตัวเครื่อง + ๐.๕ องศาเซลเซียส
  ที่อุณหภูมิ ๑๐๐๐ องศาเซลเซียส
  ๔.๑๗.๔ ด้านหลังของตัวเครื่องมีช่องขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง ๐.๓๘ นิ้ว หรือ ๐.๕๕ เซนติเมตร
  สําหรับกรณีที่ต้องการวัดอุณหภูมิภายในของตัวเครื่อง
  ๔.๑๗.๑๐ สามารถปรับตั้งอุณหภูมิได้ ตั้งแต่ ๑๐๐ องศาเซลเซียส และได้สูงสุดไม่น้อยกว่า
  ๑๐๙๐ องศาเซลเซียส
  ๔.๑๗.๑๑ มีระบบควบคุมการทํางานแบบ digital single set point คือเป็นระบบควบคุมการตั้งค่า แบบดิจิตอล ๑ ตําแหน่ง จอแสดงผลจะแสดงอุณหภูมิการทํางานหรือตําแหน่งที่อุณหภูมิ ที่ตั้งค่า
  ๔.๑๗.๑๒ ใช้ไฟฟ้า ๒๒๐ - ๒๔๐ โวลต์ ๕๐/๖๐ เฮิร์ตซ์
  ๔.๑๗.๑๓ ผู้ยื่นข้อเสนอต้องได้รับการแต่งตั้งให้เป็นตัวแทนจําหน่ายจากผู้ผลิตหรือตัวแทนจําหน่าย
  ในประเทศไทย โดยยื่นเอกสารหลักฐานในวันยื่นข้อเสนอ
  ๔.๑๗.๑๔ มีการรับประกันไม่น้อยกว่า ๑ ปี
  เงื่อนไขเพิ่มเติม
  ผู้ขายต้องทําการส่งมอบครุภัณฑ์และติดตั้งระบบไฟฟ้าให้เหมาะสมกับการทํางานของตัวเครื่อง
  ๒. ผู้ขายต้องทําการส่งมอบครุภัณฑ์และติดตั้งระบบแก๊สให้เหมาะสมกับการทํางานของตัวเครื่อง ผู้ขายต้องทําการส่งมอบครุภัณฑ์และติดตั้งระบบน้ําให้เหมาะสมกับการทํางานของตัวเครื่อง
  ๓.
  ๔. ผู้ยื่นข้อเสนอต้องทําห้องสภาวะแวดล้อมภายในเป็นคลีนรูม Class 90,000 ห้องสะอาดที่ควบคุมปริมาณ อนุภาคขนาด ๐.๕ ไมครอนหรือใหญ่กว่า ไม่ให้เกิน ๑๐,๐๐๐ อนุภาคต่อลูกบาศก์ฟุต ขนาดพื้นที่โดยรวม
  ไม่น้อยกว่า ๓๕ ตารางเมตร จํานวนไม่น้อยกว่า ๑ ห้อง
  ๕. ติดตั้งหัวจ่ายลมไนโตรเจนภายในห้อง จํานวน ไม่น้อยกว่า ๑ จุด

5. ติดตั้งหัวจ่ายลมภายในห้องจํานวนไม่น้อยกว่า ๑ จุด
   ๑
   ๗. ผู้ขายต้องทําการอบรมการใช้งานครุภัณฑ์และอบรมการดูแลรักษาให้กับบุคลากร
   ๔. คู่มือการใช้งานภาษาไทยและภาษาอังกฤษจํานวนไม่น้อยกว่า ๑ ชุด ในวันส่งมอบพัสดุ
   ๙. คู่มือการใช้งานแบบไฟล์อิเล็คทรอนิคส์ไม่น้อยกว่า ๑ ชุด ในวันส่งมอบพัสดุ
   niño mun-form B
   she notown
   ๕. กําหนดเวลาส่งมอบพัสดุ
   กําหนดเวลาส่งมอบพัสดุ หรือให้งานแล้วเสร็จภายใน ๒๑๐ วัน หลังจากลงนามในสัญญา
6. หลักเกณฑ์ในการพิจารณาข้อเสนอ
   ในการพิจารณาผลการยื่นข้อเสนอประกวดราคาอิเล็กทรอนิกส์ครั้งนี้ มหาวิทยาลัยเกษตรศาสตร์ จะพิจารณา
   ตัดสินโดยใช้หลักเกณฑ์ ราคา
   ๗. วงเงินงบประมาณ /วงเงินที่ได้รับจัดสรร
   วงเงินงบประมาณ ๒๒,๙๖๐,000.00 บาท (ยี่สิบสองล้านสองแสนเก้าหมื่นหกพันบาทถ้วน)

• เบิกจ่ายจากเงินงบประมาณแผ่นดิน ประจําปีงบประมาณ พ.ศ. ๒๕๖๙

4. งวดงานและการจ่ายเงิน
   จํานวน ๑ งวด โดยผู้ขายจะต้องส่งมอบพัสดุไม่เกิน ๒๑๐ วัน นับถัดจากวันลงนามในสัญญาซื้อขาย หรือวันที่ ได้รับหนังสือแจ้งจาก มหาวิทยาลัยเกษตรศาสตร์ ให้ส่งมอบพัสดุ
   มหาวิทยาลัยเกษตรศาสตร์ จะจ่ายค่าสิ่งของซึ่งได้รวมภาษีมูลค่าเพิ่ม ตลอดจนภาษีอากรอื่น ๆ และค่าใช้ จ่าย ทั้งปวงแล้วให้แก่ผู้ยื่นข้อเสนอที่ได้รับการคัดเลือกให้เป็นผู้ขาย เมื่อผู้ขายได้ส่งมอบสิ่งของได้ครบถ้วน ตามสัญญาซื้อขาย หรือข้อตกลงเป็นหนังสือ และมหาวิทยาลัยเกษตรศาสตร์ ได้ตรวจรับมอบสิ่งของไว้เรียบร้อยแล้ว
   ๙. อัตราค่าปรับ
   กําหนดค่าปรับเป็นรายวัน ในอัตราร้อยละ ๐.๒๐ ของราคาค่าสิ่งของที่ยังไม่ได้รับมอบนับถัดจากวันครบ
   กําหนดส่งมอบ
   ๑๐. การกําหนดระยะเวลารับประกันความชํารุดบกพร่อง
   รับประกันความชํารุดบกพร่องหรือขัดข้องของสิ่งของตามสัญญา เป็นเวลา ๑ ปี นับถัดจากวันที่ผู้ซื้อได้รับมอบ สิ่งของทั้งหมดไว้โดยถูกต้องครบถ้วนตามสัญญา โดยภายในกําหนดเวลาดังกล่าว หากสิ่งของตามสัญญานี้เกิดชํารุด บกพร่องหรือขัดข้องอันเนื่องมาจากการใช้งานตามปกติ ผู้ขายจะต้องจัดการซ่อมแซมหรือแก้ไข ให้อยู่ในสภาพที่ใช้การ ได้ดีดังเดิม ภายใน ๑๕ วัน นับถัดจากวันที่ได้รับแจ้งจากผู้ซื้อโดยไม่คิดค่าใช้จ่ายใด ๆ ทั้งสิ้น หากผู้ขายไม่จัดการ ซ่อมแซม หรือแก้ไข ภายในกําหนดเวลาดังกล่าว ผู้ซื้อมีสิทธิที่จะทําการนั้นเองหรือจ้างผู้อื่นให้ทําการนั้นแทนผู้ขาย โดย ผู้ขายต้อง เป็นผู้ออกค่าใช้จ่ายเองทั้งสิ้น
   ๑๑. กําหนดยืนราคา
   ราคาที่เสนอจะต้องเสนอกําหนดยืนราคาไม่น้อยกว่า ๒๑๐ วัน ตั้งแต่วันเสนอราคาโดยภายในกําหนด ยืนราคา ผู้ยื่นข้อเสนอต้องรับผิดชอบราคาที่ตนได้เสนอไว้ และจะถอนการเสนอราคามิได้
   ๑๒. หน่วยงานที่รับผิดชอบโครงการ
   ชื่อหน่วยงาน ภาควิชาวิศวกรรมวัสดุ คณะวิศวกรรมศาสตร์ มหาวิทยาลัยเกษตรศาสตร์ ๕๐ ถนนงามวงศ์วาน แขวงลาดยาว เขตจตุจักร กรุงเทพมหานคร ๑๐๙๐๐ โทร ๐๙๙๙-๗๙๗-๐๒ ต่อ ๒๑๐๓
   122
   www.form
   zoh machowan
   สถานที่ติดต่อเพื่อเสนอแนะวิจารณ์ หรือแสดงความคิดเห็น
   สถานที่ส่งข้อคิดเห็นหรือข้อเสนอแนะวิจารณ์ เกี่ยวกับร่างขอบเขตงาน (Terms of Reference : TOR) ไว้ ณ งานพัสดุ กองคลัง อาคารสารนิเทศ ๕๐ ปี ชั้น ๓ มหาวิทยาลัยเกษตรศาสตร์ บางเขน โทรศัพท์ : ๐๒-๙๔๒๘๒๐๐-๔๕ ต่อ ๖๔๔๓๐๗-๙,๒๖
   สาธารณชนที่ต้องการเสนอแนะวิจารณ์หรือมีความคิดเห็นสามารถแสดงความคิดเห็นมายังงานพัสดุ กอง
   คลัง อาคารสารนิเทศ ๕๐ปี ชั้น ๓ มหาวิทยาลัยเกษตรศาสตร์ บางเขน ได้โดยตรง โดยเปิดเผยตัว
   คณะกรรมการจัดทําร่างขอบเขตของงานและร่างเอกสารประกวดราคา
   ลงชื่อ ประธานกรรมการฯ
   FAN W
   (นายกษิดิศ พนมสุวรรณ)
   ลงชื่อ..
   .กรรมการฯ
   (นายกฤษฎา สุรวัฒนวิเศษ)
   zh
   ลงชื่อ.
   Morbor
   .กรรมการฯ
   (นายพร้อม แก่นทับทิม)
   ลงชื่อ..
   Sand
   ..กรรมการฯ
   (นางสมพิศ ชยันโต)
   ลงชื่อ
   Jar
   ลงซอ.
   ..กรรมการและเลขานุการฯ
   (นางสาวรัศมี เดชพงษ์)
   ๑๒
   ขอบเขตของงาน (Terms of Reference : TOR) โครงการซื้อเครื่องเคลือบฟิล์มบางด้วยเทคนิคการเคลือบระดับอะตอม
   แขวงลาดยาว เขตจตุจักร กรุงเทพมหานคร จํานวน ๑ ชุด ด้วยวิธีประกวดราคาอิเล็กทรอนิกส์ (e-bidding)
   รายการเอกสารที่ผู้ยื่นข้อเสนอต้องยื่นในวันเสนอราคา
   ๑. เครื่องเคลือบฟิล์มบางด้วยเทคนิคการเคลือบระดับอะตอม จํานวน ๑ เครื่อง
   ผู้ยื่นข้อเสนอต้องได้รับการแต่งตั้งให้เป็นตัวแทนจําหน่ายจากผู้ผลิตหรือตัวแทนจําหน่ายในประเทศไทย
   โดยยื่นเอกสารหลักฐานในวันยื่นข้อเสนอ (๔.๑.๒.๔)
   ๒. เครื่องเขียนวงจรแบบไม่สัมผัสตัวอย่าง จํานวน ๑ เครื่อง
   ผู้ยื่นข้อเสนอต้องได้รับการแต่งตั้งให้เป็นตัวแทนจําหน่ายจากผู้ผลิตหรือตัวแทนจําหน่ายในประเทศไทย
   โดยยื่นเอกสารหลักฐานในวันยื่นข้อเสนอ (๔.๒.๑.๔)
   ๓.
   ตู้อบลมร้อน จํานวน ๑ เครื่อง
   ผู้ยื่นข้อเสนอต้องได้รับการแต่งตั้งให้เป็นตัวแทนจําหน่ายจากผู้ผลิตหรือตัวแทนจําหน่ายในประเทศไทย
   โดยยื่นเอกสารหลักฐานในวันยื่นข้อเสนอ (๔.๔.๑๑)
   ๔. เครื่องให้ความร้อนและกวนสารละลายด้วยแท่งแม่เหล็ก จํานวน ๑ เครื่อง
   ผู้ยื่นข้อเสนอต้องได้รับการแต่งตั้งให้เป็นตัวแทนจําหน่ายจากผู้ผลิตหรือตัวแทนจําหน่ายในประเทศไทย
   โดยยื่นเอกสารหลักฐานในวันยื่นข้อเสนอ (๔.๕.๑๐)
   ๕. กล้องไมโครสโคป จํานวน ๑ เครื่อง
   ผู้ยื่นข้อเสนอต้องได้รับการแต่งตั้งให้เป็นตัวแทนจําหน่ายจากผู้ผลิตหรือตัวแทนจําหน่ายในประเทศไทย
   โดยยื่นเอกสารหลักฐานในวันยื่นข้อเสนอ (๔.๖.๙)
5. เครื่อง Spin Coater จํานวน ๑ เครื่อง
   ผู้ยื่นข้อเสนอต้องได้รับการแต่งตั้งให้เป็นตัวแทนจําหน่ายจากผู้ผลิตหรือตัวแทนจําหน่ายในประเทศไทย
   โดยยื่นเอกสารหลักฐานในวันยื่นข้อเสนอ
   เดิม
   шинфа
   zhm Khoon
   ๑๓
   ๗. เตาเผาไฟฟ้าอุณหภูมิสูง จํานวน ๑ เครื่อง
   ผู้ยื่นข้อเสนอต้องได้รับการแต่งตั้งให้เป็นตัวแทนจําหน่ายจากผู้ผลิตหรือตัวแทนจําหน่ายในประเทศไทย
   โดยยื่นเอกสารหลักฐานในวันยื่นข้อเสนอ (๔.๑๗.๑๓)
   คณะกรรมการจัดทําร่างขอบเขตของงานและร่างเอกสารประกวดราคา
   10212
   ลงชื่อ / 2554 ประธานกรรมการฯ
   (นายกษิดิศ พนมสุวรรณ)
   ลงชื่อ………….
   ..กรรมการฯ
   (นายกฤษฎา สุรวัฒนวิเศษ)
   zh kloor.
   (นายพร้อม แก่นทับทิม)
   ลงชื่อ.
   ลงชื่อ………..
   ลงชื่อ…….
   ..กรรมการฯ
   Jord
   ..กรรมการฯ
   (นางสมพิศ ชยันโต)
   กรรมการและเลขานุการฯ
   (นางสาวรัศมี เดชพงษ์)
   ๑๔
   แบบแปลน
   1017
   220
   517
   280
   520
   O
   www.gssunt.
   chi khoan
   150